Новосибирские ученые разработали инновационный лазер для печати микросхем

Новосибирские ученые разработали первую в России инновационную лазерную систему для производства фотошаблонов микросхем с использованием ультрафиолетового излучения. Об этом представитель компании «Оптические технологии» 27 мая рассказал ТАСС.

Он отметил, что созданная установка способна заменить зарубежные аналоги. Она предназначена для нанесения схем на кремниевые пластины при изготовлении микрочипов. Более 75% современных фотошаблонов высокой точности создаются именно методом лазерной литографии.

«Мы импортозамещаем американские лазеры Coherent на 257 нанометров, и все оборудование и фоторезисторы заточены под эту длину волны. Аналогов в России нет, потому что это узкоспециализированные лазеры», — рассказал неназванный собеседник издания.

Комплекс состоит из лазера мощностью 10-30 милливатт и волоконного усилителя, повышающего мощность до 15 ватт. Особенностью системы стало использование специального кристалла для преобразования частоты лазерного излучения, что создает дополнительную генерацию.

В настоящее время предсерийный образец проходит испытания на белорусском предприятии «Планар» — крупном производителе массовых микросхем. Разработчики подчеркивают энергоэффективность системы: потребление всего 1 ватт делает ее в два раза экономичнее обычного электрочайника, что значительно повышает эффективность производства.

Разработка создана в новосибирском Академпарке, где с 2006 года работает более 300 высокотехнологичных компаний. Сейчас площадь технопарка составляет 119,1 тыс. кв. м, но в планах ее расширение до 306 тыс. кв. м.